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技術(shù)文章

視頻光學(xué)接觸角測量儀測試同一樣品的接觸角值時重性差的解決辦法

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視頻光學(xué)接觸角測量儀可廣泛應(yīng)用于產(chǎn)品的品質(zhì)控制,特別是近年半導(dǎo)體行業(yè)、手機(jī)行業(yè)發(fā)展迅猛之際,生產(chǎn)廠對于產(chǎn)品質(zhì)量要求非常高,因而,可靠的測值重復(fù)性是判斷接觸角儀機(jī)械加工精度、軟件功能的判斷依據(jù)。近期,部分用戶反映在采用視頻光學(xué)接觸角測量儀測試同一個樣品或同類樣品的接觸角值時,出現(xiàn)不同的測值結(jié)果。有時,今天測值結(jié)果與昨天的測值結(jié)果均會出現(xiàn)誤差。這樣的問題對于采用了美國科諾的接觸角測量儀的用戶而言,解決辦法如下。

1、首先檢查測試液體體系的清潔度,即探針液體的純度。檢查的辦法為:采用美國科諾的基于真實液滴法的Young-Laplace方程擬合技術(shù)(ADSA-RealDrop)法,在25號針頭下方形成一個小液滴,如3-5uL,選擇懸滴法,測試探針液體(如蒸餾水,純水)的表面張力值。如果采用光學(xué)接觸角測量儀的ADSA-RealDrop法測試得到的探針液體的表面張力值是符合文獻(xiàn)數(shù)值的,如25度時表面張力值是72.75mN/m的,那么說明液體體系是干凈的。但如果測值結(jié)果明顯低于70mN/m,說明探針液體體系不干凈。解決辦法為將進(jìn)液器和針頭采用超聲波清洗機(jī)進(jìn)行清洗,并用蒸餾水進(jìn)行抽拉清洗。完成后,再次采用ADSA-RealDrop法測試表面張力值。如果還是測試不到符合文獻(xiàn)要求的表面張力值,那么采用酒精再次抽拉清洗,完成后超聲波清洗,再用蒸餾水抽拉清洗。

如果測試的常規(guī)探針液體即為蒸餾水,即測試的樣品接觸角采用的是水滴角的方式,那么建議采用一次性進(jìn)液器(1mL)。這個進(jìn)液器可以在美國科諾的注射泵中體用。這樣就解決了清洗的問題。也可以從探針液體方面排除是否會影響到終的接觸角重復(fù)性低。

2、采用ADSA-RealDrop法測試樣品的接觸角值。本方法可以自動分析出左、右接觸角值的誤差。如果左、右接觸角值誤差超過2度,那么說明被測試固體材料本身極可能存在(1)異構(gòu)性,表面結(jié)構(gòu)有特殊變化,如徑緯向結(jié)構(gòu)不同等,如Wafer等(硅片的角度值判斷為左、右誤差1度);(2)化學(xué)多樣性;(3)表面潔凈度等。

如果出現(xiàn)左、右接觸角值偏差較大時,建議采用3D接觸角測試模式進(jìn)行整體掃描,以達(dá)到進(jìn)好評估樣品接觸角測試結(jié)果的目的。

3、察看相應(yīng)的設(shè)置項,在美國科諾的視頻光學(xué)接觸角測量儀的軟件CAST3.0中可能會影響到接觸角測值結(jié)果的設(shè)置項有(1)自動閾值和手動閾值切換;(2)基準(zhǔn)線噪聲處理(雜點(diǎn)處理);(3)圖像預(yù)處理是否一致(前后圖像預(yù)處理不一致也會導(dǎo)致測試結(jié)果存在2度左右的偏差)。

4、察看接觸角測試擬合結(jié)果情況。對于自動測試的結(jié)果,美國科諾的視頻光學(xué)接觸角測試軟件CAST3.0提供了可追溯性非常好的功能-測試痕跡保留功能。可以進(jìn)入數(shù)據(jù)庫,檢索出測試報告名稱后,雙點(diǎn)詳細(xì)報告,并在接觸角測試軟件的詳細(xì)數(shù)據(jù)的右下方圖像中察看到每張圖片的擬合結(jié)果。如果出現(xiàn)沒有自動擬合成功的圖片,可以進(jìn)行二次重新擬合。對于多次無法自動擬合成功的圖片??梢钥紤]如下兩種方式進(jìn)行處理:(1)手動擬合-在圖像的邊緣添加邊緣敏感點(diǎn)后,軟件自動擬合曲線,敏感點(diǎn)可以用鼠標(biāo)移動位置,直至到近98%擬合度時停止;(2)對圖像進(jìn)行處理,進(jìn)入接觸角儀測試軟件CAST3.0的圖像處理功能,使用橡皮擦、對比度、亮度等工具對圖像進(jìn)行處理,處理完成后按保存。再選擇剛才處理的圖片進(jìn)行自動擬合。

如上解決方案如仍不能解決視頻光學(xué)接觸角測量儀測試同一樣品接觸角值時重性差的問題,請與我們的工程師。或直接將圖片發(fā)至我們公司郵件。我們工程師會在*時間為您提供解決方案。

如上解決方案為美國科諾授權(quán)上海梭倫信息科技有限公司*撰寫,未經(jīng)許可不得摘抄或引用。

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